半導体・電子部品関連
半導体製造現場では、ほんのわずかな塵埃が品質に大きく影響します。
そのため、清浄度クラスに合ったクリーンウェアを着用することが重要です。
「カタログを見てもクリーンウェアの違いがわかりづらい」
「今着用しているクリーンウェアは適切な機能を満たしているのか気になる」
「自社の工程に適したものを選定するため、仕様確認や評価・測定をしてみたい」
「クリーンウェアの運用管理にはどのような対応・対策が必要なのか知りたい」
そのような課題がございましたら、ぜひガードナーにご相談ください。
アドクリーンで、
更衣の選定と運用のお手伝いをさせてください。
① 清浄度クラスに対応したクリーンウェアを選定
豊富な実績と経験をもとに、ISO※1やIEC※2等の規格に基づく清浄度クラスや静電気対策等を考慮し、お客様に「最適な」クリーンウェア選定のお手伝いをいたします。
クリーンウェアの採用選定のため、タンブリング発塵試験等の評価をご希望のお客様は、
最新鋭の各種測定機器をご利用いただけますので、担当営業までご相談ください。
| 主なクリーン清浄度規格 | 国際標準化機構 ISO 14644-1 |
米国連邦規格 Fed.Std.209D |
ガードナー基準レベル |
|---|---|---|---|
| 基準粒径分布 | 0.1μm以上 | 0.5μm以上 | |
| 単位体積 | m³ | ft³ | |
| クラス表示（上限濃度） |
ISO 1（10個/m³）
|
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ISO 2（100個/m³）
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ISO 3（1,000個/m³）
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1
(1個/ft³)
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ISO 4（10,000個/m³）
|
10
(10個/ft³)
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ISO 5（100,000個/m³）
|
100
(100個/ft³)
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|
ISO 6（1,000,000個/m³）
|
1,000
(1,000個/ft³)
|
||
|
ISO 7
|
10,000
(10,000個/ft³)
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||
|
ISO 8
|
100,000
(100,000個/ft³)
|
|
LEVEL
1
LEVEL
2
LEVEL
3
② 選定したウェアを適切に運用
着用や洗浄に伴い発生する繊維疲労等の経年劣化を避けることはできません。
適切な運用管理ができなければ、クリーンウェアが本来の機能を発揮できず、
繊維の欠落や発塵等のリスクが増加する原因となってしまいます。
クリーニング会社や協働するシステムインテグレータのICタグウェア管理システムを用いることで、運用製品の在庫数や洗浄回数の管理だけでなく、トレーサビリティの把握や入退出管理等、今まで難しかったウェアの運用管理が可能となります。
③ クリーンウェアの運用管理をサポート
安心の品質をお届けするため、アフターサービスにおいてもクリーンウェアの劣化度を検証する評価試験のお手伝いをさせていただきます。
自社に備えた可視化試験、タンブリング発塵試験、摩擦帯電圧減衰試験、動作発塵試験等を用いて、多角的にウェアの劣化度を検証することで、適切な交換管理のサポートをいたします。
※1）ISO 14644-1 ( Fed.Std.209D )
クリーンルームの空気清浄度規格は、米国連邦規格Fed.Std.209Dが長く使用され、1ft³中の0.5μm以上の粒子数でクラス分けがされていました。
現在は、1999年に制定されたISO14644-1が清浄度評価方法を含めて唯一の国際規格となっています (米国連邦規格は2001年に廃止)。
日本では未だ米国連邦規格のClass 100やClass 1000と呼ぶケースが多いですが、今後はISO規格が中心となっていくものと考えられます。
※2）IEC 61340-5-1
IEC 61340-5-1は、IEC（国際電気標準会議）が定める、電子部品等を静電気の影響から保護することを目的とした国際規格です。
作業者が着用する衣服やシューズには、次の要求事項を満たすことが定められています。
・衣服への要求事項：衣服の全ての部分が電気的に連続であること、その表面特性は、2点間の抵抗(Rp)が、Rp＜1×1011(Ω)であること。
・シューズへの要求事項：作業者が着用した時に1×105≦Rg≦1×108(Ω)の抵抗特性を持つこと。